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半導體設備

BUPERMANN:用于半導體設備的行星減速機

半導體加工領域,實踐證明半導體生產設備對螺旋傘齒輪精密伺服減速器要求非??量?。

追求高強度、高精度、直角轉向、高負載能力和剛性。

BUPERMANN通過與客戶緊密合作,我們的產品得到了持續的改進。

BUPERMANN90度直角伺服減速器在半導體行業領域的應用優勢,能夠按照具體需求提供標準產品,進行個性化配置,運行可靠、精確的解決方案。

半導體設備應用需求

半導體設備高精度定位、高減速比、90度換向等應用,要求螺旋傘齒輪減速機擁有高減速比的情況且精度高。

我們有適用于半導體設備的減速機:

BPT型軸輸入伺服轉向器

  • 減速比

    1-5

  • 額定扭矩

    12-3200 Nm

  • 回程間隙

    6 arcmin

  • 輸入轉數

    1700-7500 rpm

  • 徑向力

    900-18000 N

結構尺寸

BPTF型法蘭輸入直角減速器

  • 減速比

    1-500

  • 額定扭矩

    12-3200 Nm

  • 回程間隙

    6-10 arcmin

  • 輸入轉數

    1700-8000 rpm

  • 徑向力

    900-18000 N

結構尺寸

BPTAW標準型直角行星減速器

  • 減速比

    3-100

  • 額定扭矩

    13-1200 Nm

  • 回程間隙

    3-10 arcmin

  • 輸入轉數

    2000-3000 rpm

  • 徑向力

    1100-19500 N

結構尺寸

BPTSM高精密伺服直角減速機

  • 減速比

    2-10

  • 額定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程間隙

    4-6 arcmin

  • 輸入轉數

    2000 rpm

  • 徑向力

    1100-45000 N

結構尺寸

BPTS型高精密軸輸入轉向器

  • 減速比

    2-5

  • 額定扭矩

    9.5-1200 Nm

  • 回程間隙

    6 arcmin

  • 輸入轉數

    1000-2000 rpm

  • 徑向力

    1100-24100 N

結構尺寸

BPTSW型高精密直角減速器

  • 減速比

    6-300

  • 額定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程間隙

    3-10 arcmin

  • 輸入轉數

    2000-4500 rpm

  • 徑向力

    1100-45000 N

結構尺寸

BPHN型中空旋轉平臺

  • 減速比

    10-180

  • 額定扭矩

    5-650 Nm Nm

  • 回程間隙

    0.5 arcmin arcmin

  • 輸入轉數

    ±10 arcsec rpm

  • 徑向力

    30-800 Kg N

結構尺寸

BPHS型中空旋轉平臺

  • 減速比

    5-18

  • 額定扭矩

    5-180 Nm Nm

  • 回程間隙

    0.5 arcmin arcmin

  • 輸入轉數

    ±10 arcsec rpm

  • 徑向力

    3-40 Kg N

結構尺寸

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